欧美精品一区二,网站黄久久久久,中文字幕不卡免费一区,欧美电影 日韩在线 亚洲电影

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  應力測量  >  FSM應力儀  >  FSM 128薄膜應力及基底翹曲測試設備

薄膜應力及基底翹曲測試設備

簡要描述:美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

  • 產(chǎn)品型號:FSM 128
  • 廠商性質:代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 7468

詳細介紹

美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

??在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

??1) 快速、非接觸式測量

??2) 128型號適用于3至8寸晶圓

??128L型號適用于12寸晶圓

??128G 型號適用于470 X 370mm樣品,

??另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺

??3) 雙激光自動轉換技術

??如某一波長激光在樣本反射度不足,系統(tǒng)會自動使用

??另一波長激光進行掃瞄,滿足不同材料的應用

??4) 全自動平臺,可以進行2D及3D掃瞄(可選)

??5) 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求

??電介質厚度測量

??6) 500 及 900°C高溫型號可選

??7) 樣品上有圖案亦適用

image007.jpg

美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規(guī)格

??1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

??2) 樣本尺寸:

??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

??FSM 128G: /大550×650 mm

??3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

??4) 激光強度: 根據(jù)樣本反射度自動調節(jié)

??5) 激光波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

??6) 薄膜應力范圍: 1 MPa — 4 GPa

??(硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

??7) 重復性: 1% (1 sigma)*

??8) 準確度: ≤ 2.5%

??使用20米半徑球面鏡

??9) 設備尺寸及重量:

??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

??電源 : 110V/220V, 20A



 

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
亚洲国产高清在线播放| 一本久久精品一区二区顶楼大象 | 浦城县| 91在线不卡lu| 日本乱伦不卡免费一区电影| 亚洲第一精品一区| 中午高清久久| 一本道免费精品| 国产Av无毛久久| a久久久久久久| 亚洲天堂 一区| www.日一区二区三区| 狠狠涩99re亚洲综合| 激情日韩一区| 天天切射一区| 欧美久久免费三区| 日本真人免费一区二区| 国产视频欧美在线播放| 曰本不卡三区| 日本在线视频中文字幕视频| 亚洲av色无码乱码在线| 日本免a费黄色电影播放| 99久久久精品免费观看国产| 成人福利 无码一区| 精品综合久久久久国产日韩| 99久久久免费毛片| 专区一专区二亚洲虐待| 黄色A亚洲| silk110中文字幕一区二区| 久久久婷婷T| 一二区欧美久久综合欧美| 日韩精品在线观看手机| 野外少妇被弄到喷水久久| 天天日日一区二区| 蜜臀久久精品99国产| 日韩成人影片久久| 草草在线视频| 正在播放日产一区二区三区| 日韩午夜高清电影| 毛片一区二区毛片三区| 午夜福利5000|