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  • PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動(dòng)檢測(cè)機(jī)

    晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動(dòng)檢測(cè)機(jī)使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量,結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實(shí)現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)?nèi)容包括: 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測(cè)試)。

    更新時(shí)間:2025-03-26
    型號(hào):PLS-F1002
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:3710
  • Nano X-2000S白光干涉儀

    白光干涉儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號(hào):Nano X-2000S
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:7695
  • RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機(jī)

    該儀器具備轉(zhuǎn)盤式針孔共聚焦和白光干涉兩種光學(xué)測(cè)量技術(shù),用于各種材料/涂層/器件的高精度表面三維特征 測(cè)量,能夠測(cè)量從粗糙的到光滑的,堅(jiān)硬的到柔軟的,黏性的表面以及各種場(chǎng)合下難于測(cè)量的表面,適用于金屬材 料、非金屬材料、復(fù)合材料、薄膜、涂層、器件等各種各樣材料的表面微觀結(jié)構(gòu)特征的3D成像,提供各種粗糙度, 表面結(jié)構(gòu)的臺(tái)階高度,角度、體積、長(zhǎng)度、深度等多種數(shù)據(jù)的測(cè)試分析、相似特征的統(tǒng)計(jì)分析,輪廓提取等

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號(hào):
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:4112
  • PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)

    晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門測(cè)量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動(dòng)晶圓形貌檢測(cè)及分選機(jī)。

    更新時(shí)間:2025-03-24
    型號(hào):PLS-F1000/F1002
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:3664
  • QuickPRO-CUBE非接觸式三維形貌儀

    三維形貌儀通過集成一對(duì)單點(diǎn),非接觸式,納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速,納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng),QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前,后和基準(zhǔn)表面3D點(diǎn)云地形,用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。

    更新時(shí)間:2024-11-26
    型號(hào):QuickPRO-CUBE
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:29606
  • QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀

    專為測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計(jì),如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號(hào):
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1583
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