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接近式光刻機的使用原理及性能指標(biāo)
2024-09-09

大家也許還不是非常的清楚,光刻機的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來給大家簡單介紹一下有關(guān)接近式光刻機的使用原理及性能指標(biāo)。接近式光刻機的使用原理:其實在我國對于接近式光刻機,曝光時掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點...

  • 2023-06-08

    1.簡介光學(xué)光刻(Opticallithography),也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻,是在其他處理步驟(例如沉積,蝕刻,摻雜)之前用光刻膠對掩模和樣品進(jìn)行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備(接近式光刻機)2.1HMDS及涂膠1)標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預(yù)處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4)涂膠機上進(jìn)行光刻膠的涂布2.2對準(zhǔn)接觸光刻1)光刻前的對準(zhǔn)2)對準(zhǔn)器——處理具有對準(zhǔn)圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準(zhǔn)機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...

  • 2023-06-07

    電容式位移傳感器是一種常用的測量裝置,可以實時監(jiān)測物體的位置、形態(tài)和運動狀態(tài)等。但是,在使用電容式位移傳感器時,也存在一些需要注意的問題,以下為詳細(xì)介紹:1.靜電干擾:電容式位移傳感器對靜電干擾比較敏感,在使用時應(yīng)盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環(huán)境下,靜電干擾更加嚴(yán)重,會造成誤差的產(chǎn)生。2.靈敏度:本產(chǎn)品的靈敏度較高,因此需要進(jìn)行相應(yīng)的校準(zhǔn),以確保其精度和可靠性。校準(zhǔn)時應(yīng)注意傳感器與被測對象之間的距離、介質(zhì)、溫度等因素的影響。3.溫度漂移:溫度變化會導(dǎo)致產(chǎn)品本身的參數(shù)...

  • 2023-06-05

    粗糙度測定儀的應(yīng)用表面質(zhì)量的特性是零件非常重要的特性之一,在計量科學(xué)中表面質(zhì)量的檢測具有重要的地位。以前人們是用標(biāo)準(zhǔn)樣件或樣塊,通過肉眼觀察或用手觸摸,對表面粗糙度做出定性的綜合評定。目前粗糙度儀主要涉及的行業(yè)領(lǐng)域有:一、非金屬加工制造業(yè),隨著科技的進(jìn)步與發(fā)展,越來越多的新型材料應(yīng)用到加工工藝上,如陶瓷、塑料、聚乙烯,等等,現(xiàn)在有些軸承就是用特殊陶瓷材料加工制作的,還有泵閥等是利用聚乙烯材料加工制成的。這些材料質(zhì)地堅硬,某些應(yīng)用可以替代金屬材料制作工件,在生產(chǎn)加工過程中也需要...

  • 2023-06-02

    電容式位移傳感器是一種常用的非接觸式測量設(shè)備,用于測量物體的位移、壓力、形變等參數(shù)。它主要由電容傳感器和測量電路組成。目前,電容式位移傳感器在工業(yè)自動化控制、機械加工、汽車行業(yè)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。它可以測量各種類型的位移、形變、壓力和負(fù)載等參數(shù),并且具有高精度、高穩(wěn)定性和長壽命等特點。例如,在機械加工中,它可用于檢測機床、刀具、工件等物體的運動狀態(tài)和變形情況,從而實現(xiàn)精密加工。在汽車行業(yè)中,它可以用于測量剎車踏板的位置,以及輪胎和懸掛系統(tǒng)的位移等參數(shù)。其工作原理:電容式位移...

  • 2023-05-29

    幾家著名的增強現(xiàn)實(AR)公司聯(lián)合起來,加速消費級AR可穿戴設(shè)備的發(fā)展。SCHOTT,Inkron,EVGroup(EVG)和WaveOptics展示了全球shou個在玻璃基板上制成的折射率為1.9的波導(dǎo),以及相匹配的納米結(jié)構(gòu)聚合物——在300毫米晶圓平臺上生產(chǎn),且可進(jìn)行批量生產(chǎn)。SCHOTT是國際領(lǐng)仙的科技集團和光學(xué)玻璃的發(fā)明者,現(xiàn)推出SCHOTTRealView™高折射率玻璃晶圓,其折射率為1.9,直徑為300mm。這些晶圓是批量生產(chǎn)下一代AR波導(dǎo)的基礎(chǔ),不僅...

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