欧美精品一区二,网站黄久久久久,中文字幕不卡免费一区,欧美电影 日韩在线 亚洲电影

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  EVG納米壓印機(jī)  >  UV-NIL/SmartNIL紫外壓印  >  EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:多功能EVG7300 UV納米壓印光刻系統(tǒng)可以支持多種相關(guān)的UV工藝:SmartNIL,晶圓級(jí)光學(xué)(WLO)和堆疊-三種功能合并在一個(gè)靈活的工具中

  • 產(chǎn)品型號(hào):EVG7300
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問(wèn)  量: 4520

詳細(xì)介紹

它是一個(gè)基于模塊化和改進(jìn)的SmartNIL模塊的獨(dú)立系統(tǒng),可以根據(jù)處理和自動(dòng)化水平進(jìn)行配置。EVG7300支持從150毫米到300毫米的晶圓尺寸,具有低至300納米的高精度對(duì)準(zhǔn),先進(jìn)的過(guò)程控制和高吞吐量,可以滿足各種自由形狀和高精度納米和微光學(xué)元件和器件的先進(jìn)研發(fā)和大批量制造(HVM)需求。為了在HVM環(huán)境中集成預(yù)處理和后處理流的必要性,該模塊可以集成到HERCULES NIL系統(tǒng)中


這種多功能系統(tǒng)旨在服務(wù)于廣泛的新興應(yīng)用,包括微和納米壓印以及功能層的紫外線堆疊。因此,該設(shè)備可以增強(qiáng)晶圓級(jí)光學(xué)(WLO),納米光子學(xué),超表面和生物醫(yī)學(xué)芯片的工藝性能。這與行業(yè)對(duì)新型光學(xué)傳感器和光電子器件的需求密切相關(guān),例如自動(dòng)駕駛,汽車和裝飾照明中的微透鏡陣列和投影儀,生物識(shí)別認(rèn)證的衍射光學(xué)器件以及復(fù)雜元透鏡的新興趨勢(shì)。利用這項(xiàng)技術(shù)的第一個(gè)應(yīng)用已經(jīng)存在于先進(jìn)的生物醫(yī)學(xué)設(shè)備和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)波導(dǎo)領(lǐng)域,其中納米印跡技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜設(shè)計(jì)的高質(zhì)量制造。


特點(diǎn)

· 靈活性:UV- nil系統(tǒng)在一個(gè)工具中實(shí)現(xiàn)三個(gè)UV過(guò)程:SmartNIL, WLO和堆疊

     · 精確控制多步工藝,包括對(duì)準(zhǔn),接觸和紫外線固化

     · 用于SmartNIL和WLO的低力自動(dòng)沖壓分離

· 可擴(kuò)展性:加工高達(dá)300mm基板的晶圓

· 模塊化:獨(dú)立模塊,以及集成到HERCULES NIL

     · 基材搬運(yùn):從手動(dòng)裝載到全自動(dòng)操作

     · 可選的自動(dòng)郵票加載SmartNIL允許連續(xù)模式操作

· 高級(jí)對(duì)齊功能

     · 實(shí)時(shí)校準(zhǔn)<±300nm(取決于工藝)

· UV LED燈最高功率500mW/cm2

     · > 90%均勻度

     · 可選:雙波長(zhǎng)工作:365nm和405nm

     · 不同的曝光模式

· 可選特性

     · 光楔誤差補(bǔ)償(WEC)

     · 溫度控制

· 行業(yè)先進(jìn)的工藝性能

     · 分辨率低至單納米范圍

     · 非常精確的殘余層控制


技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(襯底尺寸):最大300毫米

分辨率:≤10納米(視工藝及材料而定,主料由客戶提供)


支持的進(jìn)程:Lens Stacking、Lens Molding、SmartNIL®

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說(shuō)明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
91偷拍一区二区| 亚洲男人天堂色情一区二区在线视频| 欧美乱情老熟妇| 欧美不卡免费视频天天爽| 超碰在线一区二| 免费美女视频一区| 欧亚自拍偷拍| 欧美日韩视频网站永久免费| 艹B视频观看处| 久久三级色色| 欧美日韩久久精品在线| 老鸭窝人人妻A片| 视频精品小视频欧美| 伦理电影日韩99| 一区二区别区色| 日韩一品欧美一品| 久久久性黄片| 国产综合精品国产| 无码3344| 亚洲激情偷拍网| 欧美日韩综合一品在线看中文版| 久久精品三级三级三级| 啊嗯来嘛啊受不了三级片| 鸡巴视频蜜桃| 亚洲av无码成人精品酒店| 97爱在线| 日本一级人妻| 国产精品磁力一区| 国人av在线| 亚洲第一页日韩第一页日韩| 欧美轮奸视频一区二区三区| 国产日韩精品久久| 51一区在线| 国产乱码一品二品三品| 中文三级视频| 国产精品玖玖爱色婷婷在线视频| 日本一道本A V在线| 92精品国产人妻在线电影| 中文字幕老鸭窝最新| 激情图区一区二区在线| 人妻不卡无码视频|