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當前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >  晶圓缺陷檢測  >  LAZIN  >  LODAS™ – LI系列FPD Photomask缺陷檢查裝置

FPD Photomask缺陷檢查裝置

簡要描述：LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

  • 產(chǎn)品型號：LODAS™ – LI系列
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時間：2024-03-19
  • 訪  問  量： 1055

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詳細介紹

列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來，秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實"的經(jīng)營理念，為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù)，專門制造、銷售半導體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。


特征：

  • A面、B面同時檢查

  • 可支持G10、G8、G6尺寸

  • 用微分干涉顯微鏡判斷、分析表面和背面缺陷

  • 檢查對象：FPD Photomask Substrate、Cr、Resist Blanks

  • 檢查項目：表面和背面顆粒、內(nèi)部缺陷


列真公司檢查裝置的維護、修理

  • 定期支持裝置安裝完成后的性能維持。

  • 24小時電話對應，全年無休的安心支持。

  • 認真對待客戶新的要求。

  • 召開技術(shù)研討會和充實各種手冊，讓顧客能夠自行維護和更換零件。

  • 提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務(wù)。


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